PLASMA CLEANER

·        Thích hợp cho quá trình làm sạch khô như loại bỏ các chất hữu cơ, màng oxy hóa, và làm sạch bề mặt, khắc, v.v.

·        Các điện cực có thể được thay thế bằng các điện cực được phát triển đặc biệt để cải thiện hiệu quả plasma

·        Chức năng an toàn: Công tắc cửa, Khóa liên động của bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị chống quá nhiệt

Thông số kỹ thuật:

·        Chế độ plasma : DP/RIE

·        Tần số dao động: 13.56MHz

·        Công suất RF: 1000W

·        Khí phản ứng: Điều khiển lưu lượng lớn, 2 hệ thống + 1 cho lọc khí

·        Bơm chân không với công suất thải 1000L/phút

·        Kích thước bên trong (W × D × H): 400×400×380mm

·        Kích thước bên ngoài (W × D × H ): 700×800×1600mm

·        Kích thước giá để:  280W x 280D mm

·        Nguồn cung cấp: AC220V 3 phase

·        Khối lượng: Khoảng 100kg

.        Điều kiện: nhiệt độ và độ ẩm: 23 độ.C +/- 5 độ.C, 65% RH +/- 20% (không tải)